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接触电阻率测量仪

这款紧凑型仪器测量成品太阳能电池的接触电阻率,手指线电阻,手指宽度和手指高度,或者测试结构。

通过在所有轴上电动化,可以通过按一个按钮来创建所有这些方法的地图。

用于测量薄扩散层的薄层电阻和晶圆电阻率的四点探头,使得TLM-SCAN 成为一种低成本,快速,高质量的四点探针贴图仪。

 

使操作更简单的功能:
自动位置校正以获得最佳接触质量
盖子关闭时自动启动
自动采样编号
软件探头识别
精确的导航与欢乐棒和显微镜相机
通过点击图像来探测定位和重新测量单点
一个样品上多个TLM测试图案的批处理模式
序列模式通过按一个按钮来测量接触电阻率和手指几何图形的映射

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