我们的微位移平台平台具有以下特点:纳米级或亚纳米级位置精度,体积小重量轻,推力大(〉10000N),响应极快,惯量小,加速度可达20G,自动锁定,无伺服抖动现象。电机没有移动部件,运动时无背隙、无摩擦、无磨损和消耗,超低耗电。它没有磁性且不产生磁辐射,也不受外部磁场干扰,可用于真空和无尘室以及潮湿、干扰大、振动大等恶劣环境,并可超高温和超低温工作,使用寿命长。
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