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上海瞬渺与ENERGETIQ签定正式代理协议

发布日期:2017-08-04

2011-10上海瞬渺与生产LDLS (Laser-driven Laser Source-美国专利) ENERGETIQ公司签署正式代理协议,上海瞬渺将全权负责该产品在中国市场的销售和售后服务,11ENERGETIQ销售经理将亲自为上海瞬渺销售团队做技术培训并提供EQ-99FC样机展示。

 

 

About Energetic:

Energetiq 是一个制造和分析纳米级产品结构的高级光源开发制造商。该产品主要用于复杂科研项目和工程运用,例如前沿半导体制造和生命科学分析仪器。

Energetiq 的光电产品基于在整个光谱能够产生高亮度的光,1ns1000ns以上,具有高度可靠性,操作周期长,体积小等特点.

Energetiq光源主要用途:光谱学分析,显微镜学,和生命科学感应方面;平版印刷术,计量学和光阻材料的半导体制造开发方面;X射线软件显微镜学;也广泛用于同步加速器辐射和传统弧光灯.

 

ENERGETIQ激光驱动光源产品介绍

EQ-99激光驱动光源:

Energetiq自主研发和生产高可靠性,高性能的光源。我们的产品谱线包括软X射线(SXR),远紫外线(EUV,深紫外(DUV)的谱线,包括可见光到红外光区(IR),波长范围从1nm1000nm及以上。Energetiq的光源具有结构紧凑,使用方便,性价比高的特点。

 

技术介绍:

电极激光驱动光源技术

Energetiq自主研发的激光驱动光源(LDLS)技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法,如弧光灯,氘灯,当使用电极连接电源和等离子体时,灯的亮度,紫外能量,使用寿命非常有限。无电极的LDLS技术可以产生少量,高亮度的等离子体,以获取高效的光源,光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线,并且延长了灯的使用寿命。

革命性的新技术---连续激光等离子放电

宽谱线,高亮度

  170nm到包括可见光区至1000nm以上。

 

无电极Z箍缩等离子体技术

已知的Z箍缩等离子体技术在产生EUVSXR光时,性能优越。然而,所以目前使用的方法都需要使用电极传导高的放电电流。要产生EUV光,电极需要接触极高温度的等离子体(约500000),此做法会导致电极腐蚀,开裂,甚至熔化。对于连接到光源的任何光学系统,电极残片成为重要的污染源。

Energetiq独特的工艺技术也是基于Z箍缩等离子体技术,但在该过程中避免使用电极,而用诱导方式将电流连入等离子体。Energetiq光源的等离子体被磁性束缚在光墙内,达到热负荷极小化,也极大减少污染残片。

独特的无电极,无电极电流设计

  --无电极,--无电极残片

等离子体被磁性束缚,以远离光源组件

--进一步减少残片污染

磁束缚提供极好的空间稳定性

低成本,结构简单

 

纯相位空间光调制器详细资料下载