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CILAS的可变形反射镜,利用压电材料所有共享相同的属性(PZT)来工作的。他可以精确地控制很小的变形量(亚纳米级)和高响应速度(几百微秒)。
CILAS可以提供两种变形镜可供选择:
●堆栈阵列镜(SAM):利用正压电效应,每个驱动单元都由一些压电磁盘组成,变形镜的行程是就是由所有压电磁盘的行程之和。
●双晶变形镜(BIM):所谓单晶(MONO),是利用横向光电响应,在两块机械连接处产生差局部曲率。
变形镜最早是在法国马库锡实验室发明的,后来在几个国防项目中,变形镜主要用在高功率激光光束聚集中。


参 数 型 号  | 通光孔径  | 通道数  | 行程  | 光学性能  | 带宽  | 
MONO31-100 LULI  | 100mm  | 31  | ±14µm(机械性)  | 7 nm rms(机械性)  | /  | 
MONO61-75 LOA  | 75mm  | 61  | ±24µm(机械性)  | 5nm rms(机械性)  | /  | 
MONO63-85 AWE  | 85mm  | 63  | ±30µm(机械性)  | 5 nm rms(机械性)  | /  | 
MONO63-50 WARSOW UNIVERSITY  | 50mm  | 63  | 20µm PV(机械性)  | 9nm rms(机械性)  | /  | 
MONO63-30 HZDR  | 30mm  | 63  | ±15µm PV(机械性)  | 8nm rms (机械性)  | 85  | 
变形镜在天文方面的应用:
变形镜在天文方面主要用在天文望远镜方面。

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| 
   型号参数  | 
  
   通光孔径  | 
  
   通道数  | 
  
   行程  | 
  
   光学性能  | 
  
   备注  | 
 
| 
   BIM19-42 PUEO CFHT  | 
  
   42mm  | 
  
   19  | 
  
   ±10µm(机械性)  | 
  
   /  | 
  
   /  | 
 
| 
   BIM60-60 MACAO SINFONI - CRIRES  | 
  
   60mm  | 
  
   60  | 
  
   ±30µm PV(机械性)  | 
  
   10nm rms(机械性)  | 
  
   /  | 
 
| 
   /BIM60-100 MACAO VLTI  | 
  
   100mm  | 
  
   60  | 
  
   ±40µm PV(机械性)  | 
  
   8.5nm rms(机械性)  | 
  
   /  | 
 
| 
   BIM60-50 SOAR  | 
  
   50mm  | 
  
   60  | 
  
   ±19µm PV(机械性)  | 
  
   10nm rms(机械性)  | 
  
   /  | 
 
| 
   BIM188 NAOJ  | 
  
   90mm  | 
  
   188  | 
  
   ±50µm PV(机械性)  | 
  
   15nm rms(机械性)  | 
  
   /  | 
 
| 
   MONO85-34 ISP  | 
  
   34mm  | 
  
   /  | 
  
   ±16µm(机械性)  | 
  
   3nm rms (机械性)  | 
  
   86Hz  | 
 
| 
   MONO63-30 IOE  | 
  
   30mm  | 
  
   63  | 
  
   ±15µm PV (机械性)  | 
  
   5nm rms(机械性)  | 
  
   
  | 
 
 
  |   |||||||||